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        反射光譜薄膜測厚儀
        型號:
        TFMS-LD
        產品概述:
        TFMS-LD是一款反射光譜薄膜測厚儀,可快速精確地測量透明或半透明薄膜的厚度,其測量膜厚范圍為15nm-50um,儀器所發出測試光的波長范圍為400nm-1100nm。此款測試系統理論基礎為鏡面反射率,并且采用光纖反射探頭。儀器尺寸小巧,方便于在實驗室中擺放和使用。
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        技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
        測量膜厚范圍

        ? 15nm-50um


        光譜波長

        ? 400 nm - 1100 nm


        主要測量透明或半透明薄膜厚度

        ? 氧化物

        ? 氮化物

        ? 光刻膠

        ? 半導體(硅,單晶硅,多晶硅等)

        ? 半導體化合物(ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等)

        ? 硬涂層(碳化硅,類金剛石炭)

        ? 聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

        ? 金屬膜(點擊圖片可查看詳細資料)


         TFMS-LD 1.png TFMS-LD 2.png

        特點

        ? 測量和數據分析同時進行,可測量單層膜,多層膜,無基底和非均勻膜

        ? 包含了500多種材料的光學常數,新材料參數也可很容易地添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等

        ? 體積較小,方便擺放和操作

        ? 可測量薄膜厚度,材料光學常數和表面粗糙度

        ? 使用電腦操作,界面中點擊,即可進行測量和分析


        精度

        ? 0.01nm或0.01%


        準確度

        ? 0.2%或1nm


        穩定性

        ? 0.02nm或0.02%


        光斑尺寸

        ? 標準3mm,可以小至3um


        要求樣品大小

        ? 大于1mm


        分光儀/檢測器

        ? 400 - 1100 nm 波長范圍

        ? 光譜分辨率: < 1 nm

        ? 電源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W

         TFMS-LD 3.jpg


        光源

        ? 5W的鎢鹵素燈

        ? 色溫:2800K

        ? 使用壽命:1000小時


        反射探針

        ? 光學纖維探針,400um纖維芯

        ? 配有分光儀和光源支架


        栽樣臺

        ? 測量時用于放置測量的樣品

         TFMS-LD 4.jpg

        通訊接口

        ? USB接口,方便與電腦對接


        TFCompanion軟件

        ? 強大的數據庫包含500多種材料的光學常數(n:折射率,K:消失系數)


         TFMS-LD 5.jpg


        ? 誤差分析和模擬系統,保證在不同環境下對樣品測量的準確性

        ? 可分析簡單和復雜的膜系

         TFMS-LD 6.jpg


        設備尺寸

        ? 200x250x100mm


        重量

        ? 4.5kg


        1、通過橢偏儀、SEM、反射光譜測厚儀(進口、國產)三者檢測結果的對比,薄膜厚度偏差< 2 nm。


        2、沈陽TFMS-IV膜厚儀與美國TFMS-LD薄膜測厚儀測量膜厚的平均值相差 2 nm;


        3、反射光譜側厚相比于SEM測厚,操作更加便捷,對操作人員要求并不高。


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        應用技術提示


        ·廠家配備的校準基片,請勿丟失。


        ·校準基片在使用時,要注意操作規范,請勿劃傷或污染基片。


        ·使用結束后,需要用無塵布將設備鏡頭和樣品臺面蓋住。


        ·測試過程需要在較為潔凈的環境下進行。


        ·待測基片在檢測前要注意保管和清洗,防止出現檢測樣品偏差過大。


        ·檢測金屬需要注意薄膜厚度,只有低于40或50nm厚度的金屬膜才可以被測量。較厚的金屬膜是不透明的,因此不能用TFMS-LD測量,實際測量厚度取決于金屬類型。假定金屬膜表面是光滑的,下表顯示了幾種金屬的可測量厚度。

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        ·表面粗糙度會引起散射使測量厚度減小。




        警示


        ·不要直視光源或探頭,以免傷害眼睛。


        ·一定要確保光纖探頭端口連接。


        ·光纖不可過度彎折。


        ·鏡頭不可使用粗糙物擦拭,防止造成鏡頭劃傷,影響檢測。




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