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        真空平板熱壓機
        型號:
        VHP-5000N-2
        產品概述:
        VHP-5000N-2是一款小型化的平板式真空熱壓機,針對于晶片的焊接或薄膜轉移,其可處理最大樣品尺寸為50mm?x?50mmx15mm。設備優越的性能非常適合于第三代半導體器件的燒結鍵合研究,儀器最高工作溫度為500℃,最大壓力為5000N。完全滿足于半導體器件制備過程中的封裝互聯材料的封裝互聯工藝所需,可提供的真空與氣氛環境可以盡可能的減少材料的氧化,是極具性價比的實驗室研發設備。
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        技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
        電源

        · 總功率:500W

        · 電源:208 - 240VAC, 50/60 Hz 單相


        設備特點

        ·設備小型化(特效);有效節約實驗室空間。
        ·半導體封裝互聯材料制備(特效);適用于晶片焊接、薄膜轉移及第三代半導體器件的鍵合研究。
        ·最大壓力5000N;精確控壓。
        ·可以真空及氣氛燒結。
        ·熱壓最高溫度500度。

        上下平板熱壓系統

        · 上下加熱平臺都安裝在真空腔體內;

        · 上下加熱平臺在冷態下的平面度為≤0.005mm;

        · 兩塊50mm x50mm加熱平臺,采用耐熱不銹鋼制成,最高可承受溫度為500℃(<30min);

        · 可放入樣品最大尺寸為:50*50*15mm;

        · 上下各一塊200W的加熱平臺,以達到快速加熱的效果;

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        · 兩個精密的溫控系統可設置30段升降溫程序,控溫精度為+/1℃,500度恒溫時的溫度波動+/3℃,分別獨立控制兩個加熱平臺。

        · 溫控系統采用PID方式進行溫度調節,并帶有過熱和斷偶保護。最高工作溫度為500℃(<30 min)

        · 連續工作溫度:450℃

        · 最快升溫速率:10℃/min

        · 可選購軟件和PC接口安裝在控溫儀表上,可將溫度程序和溫度曲線導入到電腦中。

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        · 在上加熱平臺上部和下加熱平臺下部,各安裝有一塊水冷板,用于實現高溫加熱時起到冷卻作用。


        壓力控制系統

        · 最大壓力:500Kg(5000N)(500℃溫度狀態下)

        · 壓力控制系統配置電動無油壓機

        · 無油壓機行程為 30 mm;

        · 壓機帶手動和自動兩種工作模式;

        · 在自動加壓模式下,帶自動恒壓功能,恒壓精度:±1Kg(±10N)

        · 壓力顯示范圍:1-500 Kg

        · 壓力控制范圍:10-500 Kg(可調)

        · 恒壓時間設定范圍:1—9999min(可調)


        真空腔體

        · 真空腔體采用304不銹鋼制作,并焊接有加強筋(防止真空狀態下腔體變形)。

        · 真空度<5*10E-2 torr(冷態下,VRD-8真空泵抽30min)

        · 一個機械真空壓力表安裝在真空腔體上,測量內部的真空度,壓力表范圍-0.1-0.15MPa;可選配安裝數顯壓力表

        · 一個φ6.35的卡套接頭作為進氣口使用,并通過一個不銹鋼針閥控制進氣的通斷

        · 一個4英寸的觀察窗口用于觀察物料形態

        · 一個KF25接口用于連接真空系統,且多預留了一個KF16接口

        · 腔體背面的兩個φ12mm的水管接口用于水冷設備的進出水管,KF50連接板上面的陶峰電極,用于在真空下連接上下加熱板和測溫熱電偶線;

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        真空系統(可選)

        · 型號:VRD-8

        · 抽氣速率:2.2 L/S

        · 電機功率:370 W

        · 極限壓強:5×10-1Pa(不帶負載)

        · 為了得到更高的真空度,可以選購我公司的其他高真空系統 

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        水冷系統(選配)

        · 型號:KJ-5000

        · 工作電壓:AC 220V 50HZ

        · 工作電流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h

        · 壓縮機功率:300W,水箱容量:6L

        · 最大流量:16L/min,凈重:24 Kg

        · 外形尺寸:550*280*430mm

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        重量

        約 43Kg


        外形尺寸

        主機:200mm(L) x 130mm(W) x 700mm(H)

        控制箱:340*300*140mm

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        質保期

        一年質保期,終生維護





         

           注意事項

        · 保持整個機器的清潔、定期清理。防止粉塵,最好將機器放在一個無粉塵的環境中工作。

        · 開機時如果上次壓機關機不在最低點,機器會自動復位到最低點。

        · 取料時請佩戴防護手套,以防燙傷

        · 腔體內氣壓不可高于0.02MPa;

        · 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向腔體內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.2MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;

        · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題,本公司概不負責。


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